000 00282nam a2200121Ia 4500
008 241124s9999 xx 000 0 und d
100 _aGandhi, S.K.
245 0 _aVLSI Fabrication Principles: Silicon & Gallium Arsenide
260 _b-
260 _c0
300 _a834
942 _cBK
999 _c5478
_d5478